氣相沉積實驗爐：氣相沉積實驗爐烘爐不夠勢必影響使用
發布時間：2019-08-02 點擊次數：1152次
氣相沉積技術是利用氣相中發生的物理、化學過程，在工件表面形成功能性或裝飾性的金屬、非金屬或化合物涂層，按照成膜機理，氣相沉積技術可分為化學氣相沉積、物理氣相沉積和等離子體氣相沉積，隨著技術的不斷進步，氣相沉積被廣泛應用于刀具（硬涂層）、集成電路、介質隔離等領域。
1、物理氣相沉積：物理氣相沉積是通過蒸發，電離或濺射等過程，產生金屬粒子并與反應氣體反應形成化合物沉積在工件表面，物理氣象沉積方法有真空鍍，真空濺射和離子鍍三種，目前應用較廣的是離子鍍。離子鍍是借助于惰性氣體輝光放電，使鍍料（如金屬鈦）氣化蒸發離子化，離子經電場加速，以較高能量轟擊工件表面，此時如通入CO2，N2等反應氣體，便可在工件表面獲得TiC,TiN覆蓋層，硬度高達2000HV。
2、化學氣相沉積：將工件置于反應室中，抽真空并加熱至900~1100℃。如要涂覆TiC層，則將鈦以揮發性氯化物（如TiCl4）與氣體碳氫化合物（如CH4）一起通入反應室內，這時就會在工表面發生化學反應生成TiC，并沉積在工件表面形成6~8μm厚的覆蓋層。工件經氣相沉積鍍覆后，再進行淬火，回火處理，表面硬度可達到2000~4000HV。
氣相沉積實驗爐為開式結構，爐體采用爐絲加熱的方式，并使用耐高溫陶瓷作為爐體材料，保證了其良好的加熱穩定性和溫度均勻性。該裝置中石英管兩端配置相應的法蘭接頭，可進行氣體處理以及真空處理，被廣泛應用于催化劑樣品的處理以及有機物的氣相沉積中，如應用于納米氮化物、納米氧化物、碳納米管、石墨烯等材料的生長研究中。
氣相沉積實驗爐是一款比較常用的工業電爐，相比于傳統的工業電爐，氣相沉積實驗爐具有以下特征：
1、氣相沉積實驗爐采用多溫區獨立控溫，溫度均勻性好；
2、氣相沉積實驗爐采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強；
3、氣相沉積實驗爐采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；
4、氣相沉積實驗爐對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。
在氣相沉積實驗爐的使用中，尤其是首次使用，必須進行烘爐。烘爐的時間應為室溫200℃四小時。200℃至600℃四小時。使用時，爐溫最高不得超過額定溫度，以免燒毀電熱元件。禁止向爐內灌注各種液體及易溶解的金屬，馬弗爐最好在低于最高溫度50℃以下工作，此時爐絲有較長的壽命。
氣相沉積實驗爐廠家概述：
上海鉅晶精密儀器制造有限公司是由具備10多年研發和生產經驗的技術團隊于2013年8月8日注冊成立，注冊資金1000萬元。專業從事超高溫真空爐、工業爐、實驗電爐、硬度計、材料試驗機等材料制備檢測儀器的研發、生產和銷售；以先進的設計思路、精湛的制作工藝和強大的科研實力為軍工航天、研究所、大學、工廠企業從材料研發到規模生產提供整套解決方案。
